等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

10L等離子清洗機(jī)除了具有清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，在清洗過程中，小型等離子清洗機(jī)的輝光放電可以加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。

這款等離子清洗機(jī)適合于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。

10L等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉體	清洗倉材質(zhì)	高純石英
	清洗倉尺寸	直徑230mm;長度350mm
射頻電源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢	●可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~500W連續(xù)可調(diào)/0~1000W連續(xù)可調(diào)
	信號頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤200W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣體測量	測量部件	浮子流量計(jì)
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測量	數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。
	抽氣速率	50Hz時(shí)為：1.1L/s；60Hz時(shí)為：1.3L/s。
	真空量程	1Pa～100000Pa
	極限真空	1Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	電磁閥
	電機(jī)功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	1000W/1500W
	使用溫度	-10℃ - 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	670mm×670mm×600mm
	整機(jī)重量	110kg

10L等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：

金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

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