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全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實(shí)現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個(gè)過(guò)程自動(dòng)完成;可同時(shí)交替涂覆兩種薄膜,兩種液體各交替*多500次,實(shí)現(xiàn)千層薄膜的涂覆。本機(jī)可用于酸、堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配不同尺寸的真空吸盤(pán),可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤(pán),利用真空吸附的方式固定基片。該機(jī)主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
主要特點(diǎn):
1、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。
2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán),且更換方便簡(jiǎn)單。
4、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī),可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
5、采用無(wú)油真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
6、腔體采用聚四氟乙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能;機(jī)身采用鈑金結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
7、加熱后可通氣體進(jìn)行快速冷卻。
8、中文操作界面(全英文操作系統(tǒng)可選)
9、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
10、控制界面采用觸摸屏控制,操作簡(jiǎn)單方便,顯示直觀。
11、全自動(dòng)的涂膜過(guò)程:自動(dòng)滴膠、自動(dòng)通氣、自動(dòng)旋涂、自動(dòng)烘干。
12、可兩種液體交替涂膜,*多可涂1000層薄膜。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱(chēng)
CY-SPC-100ML全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)
CY-SPC-100ML
安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。
3、氣:壓縮氣體貨自行規(guī)定的保護(hù)氣體
4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×900mm,承重50kgs以上
主要參數(shù)
、電源:主機(jī)24V 蠕動(dòng)泵24V 加熱:220V 50HZ
2、功率:總功率1200W 加熱:1350W
3、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:500-10000rpm(*小增量為1rpm。)
4、運(yùn)行程序:該機(jī)每次涂膜可分AB兩組運(yùn)行程序完成,每組程序分為六段運(yùn)行,每組程序可循環(huán)500次,兩組程序*多可涂1000層薄膜。
5、增減速率設(shè)置范圍:10rpm/s-2000rpm/s(增量為10的整數(shù)倍)
6、加熱功能:
加熱范圍:RT-200℃(腔體采用耐熱耐腐蝕的聚四氟材質(zhì))(碳纖維加熱管)
7、聚四氟真空吸盤(pán)和鋁制吸盤(pán),規(guī)格:1英寸,2英寸,4英寸。
產(chǎn)品規(guī)格
8、產(chǎn)品規(guī)格:
·尺寸:旋涂機(jī)450x400x580mm;蠕動(dòng)泵270x310x280mm;
·重量:50kg