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產品詳情
簡單介紹:
該區域提純爐主由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。區域提純爐廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
詳情介紹:
該區域提純爐主要由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
主要技術參數:
工作溫度:1200℃
爐管長度:1200mm
爐管直徑:50mmm
爐管厚度:5mm
密封方式:不銹鋼真空法蘭
真空度:1.0X10E-3Pa
流量計類型:質量流量計
氣體流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長度:200mm
移動速度:160mm/60min(可根據實際要求調節)
溫度控制:50段可編程控制
控制系統:全電腦程序控制
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