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簡單介紹：

RTP快速退火爐的主要特點有：可在真空/不同氣氛/空氣不同環境下，對樣品進行快速熱處理；控溫精度高；適合高等院校或研究機構科研使用；主動式水循環冷卻模式；立式設計；儀器采用觸摸屏技術：操作方便，裝取樣片簡單高效；價格合理，高性價比。

詳情介紹：

本品是一款快速退火爐，采用鹵素燈管加熱，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積、等等。

設備主要由石英真空室、真空泵機組、水冷機組、控制系統組成。控制系統采用智能溫控表控制，觸控屏操作。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。爐膛采用左右滑動的方式，與樣品的距離靈活可調。

設備配有國產雙極旋片泵，具有體積小，噪音小，無油污污染等優點。

RTP快速退火爐技術參數：

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