此款多功能鍍膜儀是一臺(tái)小型臺(tái)式鍍膜儀，外形小巧，操作便捷，設(shè)有真空表，濺射電流表等，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。通過調(diào)節(jié)電離氣體和鍍膜儀參數(shù)，可獲得良好的鍍膜效果。由于既可進(jìn)行等離子鍍膜，又可進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍膜，為廣大客戶所歡迎，并受到好評(píng)。

多功能鍍膜儀技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	CY-1100X-SPC-16C
靶材直徑	50mm
樣品臺(tái)直徑	50mm
真空腔體尺寸	φ160*110mm
真空度	10Pa~10-3Pa
Max電流	50mA
Max設(shè)置時(shí)間	9999s
工作電壓	直流1600V，可調(diào)
真空泵	雙極旋片真空泵：10—100Pa 渦旋分子泵系統(tǒng)：10-3Pa
電源電壓	220V 50Hz
總功率	＜2000W
蒸發(fā)鍍膜*高溫度	1100℃
熱電偶	S型熱電偶
控溫精度	±1℃
鎢絲籃	2個(gè)
真空接口	KF25
顯示器	LCD觸摸屏
膜厚監(jiān)測儀（選配）	電源：DC5V 工作電流400mA 膜厚分辨率：0.0136埃米 膜厚準(zhǔn)確度：±0.05%，取決于過程條件 測量速度：100ms-1s每次，可調(diào) 標(biāo)準(zhǔn)傳感晶體：6MHz石英